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產品型號:KJ-TRTP1000
主要用途:真空RTP退火爐可在真空、氣氛環境下,對樣品進行快速熱處理,主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室,如:薄膜沉積,不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
真空RTP退火爐是一款真空度比較高的快速熱處理管式爐,配有石英腔體和真空法蘭,采用鹵素燈加熱,升溫速度可達50℃/秒,PID自動控制,30段可編程序,它是專為半導體或太陽能電池基片的退火而設計。該高溫退火管式爐可在真空、氣氛環境下,對樣品進行快速熱處理,主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室,如:薄膜沉積,不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
產品優勢
加熱元件采用鹵素燈加熱,升溫速度可達50℃/秒
爐子的底部安裝有一對滑軌,可使爐子從爐管的一側滑動到另一側,以實現快速加熱和快速冷卻
30段高精度數字可編程溫度控制器,控溫精度高,可達±1℃
處理晶圓尺寸:2英寸 | 處理晶圓尺寸:4英寸 | 處理晶圓尺寸:6英寸 | |||
爐管外徑 | 100MM | 爐管外徑 | 110-150MM | 爐管外徑 | 180MM |
加熱區尺寸 | 200MM | 加熱區尺寸 | 300MM | 加熱區尺寸 | 400MM |
產品名稱 | RTP 快速退火爐 |
工作溫度 | 900℃ |
控 制 器 | LED(可選配LCD觸屏) |
爐 膛 | 開啟式 滑道式 |
爐管尺寸 | 根據需求尺寸定制 |
加熱區 | AC380V 50HZ 可根據要求定做 |
最大功率 | 24 kw |
加熱元件 | 鹵素燈 |
升溫速率 | 0~50 C/S |
熱 電 偶 | 根據實際需要設計來配 |
溫度控制器 | 30段高精度數字可編程溫度控制器 |
特殊要求 | 具體細節可根據客戶需求定制(詳情歡迎來電咨詢我們) 1、可定制真空系統 2、可定制氣路系統 3、其他特殊工藝需求 |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品?。?!
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