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1.氣體從鋼瓶出來,經過減壓閥減壓,通過四氟管到供氣系統的入口,再經過質子流量計控制氣體流量,然后經過混氣罐,再進入爐子進氣口,氣體從出氣管出來,經過三通閥門,一端連接真空泵,一端連接出氣口。
2.混氣罐上接有壓力表,壓力表顯數盤與質子流量計安裝在同一面板上。
3.每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全有保證。
4.該氣路采用高精度氣體浮子流量計,氣路內部全采用四氟管,耐腐蝕性好。
5.所有接頭采用卡套連接,氣密性好,耐壓高。
二、技術參數:
氣路通道: 4
氣路流量控制:質子流量控制器。
接 口: Φ6
顯 示: LED
工作環境溫度: 5~45℃
流量控制器: 質子流量控制器(詳細技術參數請查看后面)
四氟管:Φ6外XΦ4內
壓力真空表 :-0.1~0.15 MPa , 0.01 MPa/格
截 止 閥:Φ6
三、供氣系統內部壓力不能過大,不然容易造成漏氣,只要氣體能正常流出來即可。
四、供氣系統的配置:
1、質子流量計:4個
2、壓力表:1個
3、截止閥門:5個
4、穿板接頭:5個
5、閥門接頭:2個
6、鋼瓶接頭: 4個
7、聚四氟乙烯管:20M
8、混氣罐:1個
9、爐架:1臺
質量流量計技術參數:質子流量控制器普通型,模擬電路,橡膠密封,管狀分流,不易堵塞。
主要指標:
量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(你可以任意選擇量程)
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