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PECVD等離子氣相沉積設備是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統主要用于金屬粉末鍍膜中。
產品優勢
爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好
采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
爐體可傾斜,爐管可正、反轉且轉速可調,使物料動態加熱,受熱更均勻、和所通氣體可充分接觸反應
產品名稱 | 管式PECVD等離子氣相沉積系統(CE認證) |
旋轉管式爐部分 | |
產品型號 | KJ-T1200 |
加熱區長度 | 660mm(220+220+220mm三溫區) |
恒溫區長度 | 400mm |
爐管材質 | 高純石英管(變徑管) |
爐管尺寸 | 變徑管 兩端尺寸OD:80mm* 400mm 中間尺寸OD:150mm* 400mm 總長1200mm 爐管中間部分焊接揚料板 |
工作溫度 | ≦1100℃ |
最高溫度 | 1200℃ |
測溫元件 | 3支K型熱電偶分別控溫 |
溫控系統 | 7寸觸屏顯示,16段可儲藏曲線,30段PID微電腦可編程自動控制,能儲存和拷貝數據 |
保溫溫控精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
升溫速率 | 0-20ºC/min |
加熱元件 | 合金電阻絲 |
工作電壓 | AC220V 單相50HZ |
額定功率 | 5KW(以實際功率為準) |
爐膛材料 | 采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
密封系統 | 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好 |
法 蘭 | 水冷密封法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥,方便拆卸,放取材料 |
傾斜結構 | 可傾斜傾斜角0-15°(傾斜角可調)方便進出料 |
旋轉結構 | 可 360 度旋轉, 轉速0-15轉(速度可調) 材料在爐膛內均勻受熱 |
爐殼溫度 | ≤45℃ |
真空系統部分 | |
名稱 | 分子泵組: 旋片泵DRV16+分子泵FF-160/620 |
主要參數 | 極限真空度6.7*10-3Pa(包含KF25接口、真空擋板閥和可移動箱體) |
真空顯示 | 電容隔膜真空規,耐腐蝕,實時顯示真空度 |
真空顯示量程 | 其測量范圍為1×105--1×10-5pa |
旋轉密封 | 磁流體密封,保證旋轉過程中還能抽真空 |
氣路系統部分 | |
名稱 | 三路質量流量計 |
氣路 | 三路 |
流量控制 | 液晶觸摸屏控制,數字顯示,每路氣體含有針閥單獨控制,氣體流量自動控制 |
進出氣口 | 三進一出,內置精密混氣罐 |
鏈接方式 | 雙卡套接頭 |
流量范圍 | MFC1-MFC3:0-10SLM(量程可選) |
控制精度 | ±1.5%F.S左右,量程不同,略有差別 |
最大耐壓 | 1.1Mpa |
工作環境溫度 | 5℃-45℃ |
等離子射頻器部分 | |
名稱 | 射頻自動匹配器 |
型號 | VERG-500+VENA-500 |
匹配功率范圍 | 0-500W |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
正常工作反射功率 | <3W |
匹配時間 | <3S |
傳輸效率 | >90% |
使用穩定性 | ±1%F.S |
匹配器電源 | AC220V/50-60HZ |
輸入連接器/輸出連接器 | N型/UHF |
控制模式 | 手動/自動 |
管式PECVD等離子氣相沉積系統實拍
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