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產品型號:KJ-PECVD-D1
主要用途:等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜技術生長的一種系的制備技術。我公司依據實驗要求設計制作該款設備以適應各類薄膜研究的需要。
產品優勢
PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩定性
爐膛采用節能材料制作,整機能耗僅僅只有同等傳統電爐的1/3,節能環保
超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠具有多重防護功能
產品名稱 | PECVD | |
產品型號 | KJ-PECVD | |
500W 射頻電源 | ||
匹配功率范圍 | 0-500W+1%可調 | |
工作頻率 | 13.56MHZ +- 0.005% | |
反射功率 | 最大200W | |
匹配方式 | 自動 | |
輸出接口 | UHF或N型或7/16(L29) | |
冷卻 | 強制風冷 | |
電壓頻率 | 220V 50Hz | |
匹配阻抗范圍 | 實部0-80Ω 虛部-j200~+j200(可根據負載調節阻抗) | |
管式加熱系統 | ||
滑道 | 帶滑道,可手動滑動爐膛,實現快速升溫或冷卻功能 | |
加熱區長度 | 300mm | |
爐管尺寸 | 60mm x1600mm 外徑x長 | |
爐管材質 | 高純石英管 (SiO2 ≥ 99.99%) | |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
溫控系統 | 智能化30段PID微電腦可編程自動控制 | |
溫控精度 | ±1℃(具有超溫及斷偶報警功能) | |
加熱速率 | 建議0~10℃/min | |
加熱元件 | 電阻絲 | |
額定電壓 | 單相220V 50Hz | |
可通氣體 | 氮氣、氬氣等惰性氣體 | |
測溫元件 | 熱電偶測溫 | |
殼體結構 | 雙層殼體結構帶風冷系統 | |
真空法蘭 | 法蘭一端帶1/4”卡套接頭進氣口,60轉KF50快裝法蘭。另一端帶控壓閥,氣動泄壓閥和放氣閥。 | |
供氣系統 | 四路精密質子流量計: 測量精度:±1.5% F.S. 流量范圍: 0~200 sccm(含10%甲烷的氬氣) 流量范圍: 0~200 sccm(含10%甲烷的氬氣) 流量范圍: 0~200 sccm(氬氣) 流量范圍: 0~500 sccm(含10%甲烷的氬氣) 通過觸屏來調節氣體流量 |
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真空系統 | 旋片泵,真空度在空爐冷態可達10pa, 真空計:進口數顯真空計實時顯示真空度,精度高。 |
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控壓系統 | 控壓范圍 -20kpa 到 20kpa (也可按客戶要求設計) | |
自動化控制 15”觸摸屏 |
觸摸屏界面集成控制爐子,真空泵,質量流量計以及射頻電源。爐子部分需要先設好溫度時間曲線。集成控制部分可以控制溫度曲線的啟停,真空度,氣體流量,射頻功率和射頻啟停,泄壓閥等。 | |
標準配件 | 數顯真空計2個,石英爐塞1對,高密封法蘭1對,氟膠密封圈2對,高溫坩堝鉤1把,拆卸法蘭六角扳手1把,保修卡說明書1份 | |
備注 | 法蘭,質量流量計,閥門,管路等用316不銹鋼材質 |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品?。?!
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
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3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。