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產品型號:KJ-T1200 PECVD
主要用途:KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統,它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。
產品優勢
具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點
PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩定性
PECVD對于化學氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度
型號 | KJ-T1200 PECVD | |
等離子射頻電源 |
輸出功率 | 5 -500W可調,均勻性 ± 1% |
RF頻率 | 13.56 MHz ±0.005% | |
反射功率 | 最大 200W | |
射頻輸出端口 | 50 Ω,N型 | |
噪音 | <50 dB. | |
冷卻 | 空氣冷卻 | |
管式爐部分 |
顯示 | LED |
形式 | 分體式和上部可打開 | |
連續工作溫度 | ≤1100℃ | |
升溫速率 | 建議:0~10℃/min(最大20℃/min) | |
溫區長度 | 500mm | |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 | |
熱電偶 | K型 | |
溫度均勻性 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | 200m外徑 X 長度1600mm | |
材質:石英管 | ||
溫度控制 | 通SCR功率控制進行 PID 自動控制 | |
加熱曲線 | 30步可編程 | |
法蘭 | 不銹鋼帶閥真空法蘭 | |
電壓 | 380V, 50 Hz, 三相最大 20KW | |
真空泵 |
旋片真空泵 流量:4L/S 旋片式真空泵將設計成帶輪的推車。 |
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質量流量計 | 三款精密質量流量計: MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3:氣體流量范圍從 0~100 sccm (或根據您的要求) 底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合 |
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數字真空計 | 皮拉尼數字真空計 |
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